SFA300-02潔凈型氣體過(guò)濾器，SFD200-02

SMC潔凈型氣體過(guò)濾器 SF
采用可更換濾芯的卡盒型。(SFA100?200?300，SFB100)
半導(dǎo)體工藝用的小型一次性過(guò)濾器。(SFB300，SFC100)
描述 SFD 系列 潔凈氣體過(guò)濾器
●內(nèi)置中空濾芯
●壓力下降：0.03MPa(入口壓0.7MPa、大流量時(shí))
●對(duì)應(yīng)RoHS指令(限制有害成分)
尺寸 2 500L/min(ANR) 
杯體材質(zhì) 0 樹脂 
連接口徑 02 Rc1/4 
可選項(xiàng) - SFD100：無(wú)，SFD200：帶托架 
SFB300-02
SFC100-02
SFC100-03-T
SFC100P-060S
SFB100-02
日本SMC潔凈氣體過(guò)濾器
使用壓力范圍：Max.1.0MPa(真空：1.3×10-6kPa
過(guò)濾精度：0.01μm(捕捉效率99.99%)
具有高潔凈度和性的高分子隔膜式濾芯過(guò)濾精度：0.01µm潔 凈 度：0.1µm以上粒子1個(gè)
全部進(jìn)行0.1µm潔凈度檢查
在潔凈室內(nèi)洗凈、組裝、檢查、包裝。
夾頭型全部檢查項(xiàng)目濾芯*性檢查氣密檢查0.1 m潔凈度檢查
一次性使用型全部檢查項(xiàng)目濾芯*性檢查產(chǎn)品*性檢查壓力檢查氦泄漏檢查0.1 m潔凈度檢查
形式檢查項(xiàng)目氦泄漏檢查4×10-7atm·cm3/s)
流量特性檢查(空氣)過(guò)濾效率檢查ACFTD及DOP0.1 m100%除去確認(rèn))
形式檢查項(xiàng)目流量特性檢查(空氣)過(guò)濾效率檢查(ACFTD及DOP0.1 m100%除去確認(rèn))破壞檢查
CDJP2B6-5D-M9BV
CDJP2B6-20D-M9BL
CDJP2B6-10D-M9NLS
CDJP2B6-10D-M9PL
CDJP2B6-5D-M9BVL
CDJP2B6-10D-M9BL
SFA300-02潔凈型氣體過(guò)濾器，SFD200-02